פיתוח של אפלייד מטיריאלס ישראל: 22 ננומטר עובר הילוך

מאת אבי בליזובסקי חמישי, 16 ספטמבר 2010 05:53
גרסת הדפסה

ronen_ben_zion
רונן בנציון, סגן נשיא אפלייד מטיריאלס העולמית ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל

היצרנית הגדולה בעולם של ציוד לתעשיית המוליכים למחצה אפלייד מטיריאלס, הודיעה היום על השקת דור חדש של טכנולוגיית בקרת איכות למסכות ליתוגרפיה שמאפשרת ייצור שבבים בגודל 22 ננומטר. המערכת Aera3 פותחה ומיוצרת בישראל ומדגימה שוב את התרומה של אפלייד מטיריאלס ישראל לייצור כל מוצרי האלקטרוניקה החדשים בעולם – בהם iPad , iPhone4, קונסולות המשחקים xBox ו Playstation .



מסכות ליתוגרפיות משמשות יצרני שבבים כגלופות להדפסת פרוסות הסיליקון בשכבות, כאשר מסכה אחת משמשת להדפסת מאות שבבים. לאיתור פגמים במסכות חשיבות רבה, שכן אי איתורן פוגם ישירות בשבבים עצמם במהלך ההדפסה. אפלייד מטיריאלס ישראל נכנסה בשנת 2008 לשוק בקרת האיכות למסכות ליתוגרפיות. היקפו הכספי של שוק זה נאמד אז על ידי Gartner Dataquest בהיקף של 350 מליון דולר.

רונן בנציון, סגן נשיא אפלייד מטיריאלס העולמית ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל: "פריצת הדרך הטכנולוגית של Aera3 היא תוצאה של שיתוף פעולה הדוק עם לקוחותנו. המערכת מטפלת בכל יישומי בקרת האיכות לדור הבא של מסכות, ומהווה כלי חיוני לייצור מהיר והמוני של שבבים. הדור הקודם של המערכת חולל מהפיכה בשוק העולמי של בקרת איכות למסכות. המערכת החדשה Aera3 כבר הוזמנה על ידי יצרנים מובילים של מסיכות ושל שבבים ולהערכתנו זה סימן חיובי לבאות וסימן ליכולתנו להצליח בשוק אסטרטגי זה".



הטכנולוגיה בבסיס Aera3 מאפשרת סריקה באמצעות לייזר תחת תנאים אופטיים המדמים את אלו המתקיימים במכונת הליתוגרפיה להדפסת השבבים (Scanner). הטכנולוגיה מפיקה 'תמונה אווירית' (Aerial Imaging) המדמה את מה שפרוסת הסיליקון 'רואה' דרך המסכה. באמצעותה חוזה  המערכת במדויק אילו פגמים יודפסו  על פרוסת הסיליקון וישפיעו על פעולת השבב ומסננת כמות גדולה של פגמים אשר בסופו של דבר לא ישפיעו כלל על פעולתו. יכולת זו היא קריטית בדור החדש של שבבים - 22 ננומטר ומטה – שבהן טכנולוגיות קיימות אינן מסוגלות להתמודד עם האתגר הטכנולוגי ולהגיע לרמת דיוק נדרשת וליכולת חיזוי אמינה

כמן כן, מספקת ה  Aera3  יכולת יחודית במינה לסריקת מסכות EUV. מסכות אלו מהוות את הדור הבא של עולם הליתוגרפיה אשר יאפשר ליצרני השבבים ליצר בטכנולוגיה של מתחת ל 20 ננומטר. טכנולוגיית ה EUV נמצאת בתהליכי פיתוח אצל היצרנים המובילים בעולם ומכונת ה Aera3  מהווה נדבך קריטי להצלחתם.