אפלייד מטיריאלס משיקה את מערכת ה-SEMVision G7 החדשה בעלת יכולות תמונה משופרות ולימוד מכונה
מאת אבי בליזובסקי ראשון, 18 מרץ 2018 00:27

מערכת SEMVision G7 החדשה של אפלייד מטיריאלס. צילום יחצ

מערכת SEMVision G7 החדשה של אפלייד היא כלי ה-DR-SEM (כלי בקרה ואנליזת פגמים מבוסס מיקרוסקופ אלקטרונים Defect Review SEM) היחיד המשלב את היכולת להפיק תמונות של הפגמים ברזולוציה גבוהה עם יכולת סיווג מבוססת Machine Learning מוכחת - יכולת זו מאפשרת ליצרני השבבים סיווג מהיר של הפגמים, זיהוי הגורמים להם ובכך מסייעים לפתור בעיות תפוקה ולשפר את תהלך הייצור.

"ככל שתכנון השבבים נעשה מתקדם ומורכב יותר, כך גם אתגרי הייצור. יצרני השבבים מחפשים דרכים לקצר את משך הזמן עד לייצוב הייצור והשגת תפוקה אופטימלית, אמר עופר גרינברגר, סגן נשיא ומנהל חטיבת Process Diagnostics and Control באפלייד מטיריאלס. "מערכת SEMVision G7 מרחיבה את יכולת הדימות של אפלייד ומאתרת פגמים קריטיים החשובים ליצרנים, לרבות בשולי פרוסות הסיליקון (Wafer), אזורים שבהם פגמים שלא אותרו עלולים לפגום בתפוקת השבב. באמצעות אלגוריתמים חדשים שלMachine Learning, פגמים מסווגים ומנותחים בזמן אמת, כך שניתן להבטיח בקרת תהליך מדויקת ועקבית והגעה לתהליך ייצור יציב."

מלבד יכולות דימות ייחודיות בחוד פרוסת הסיליקון ובשוליה, מציעה מערכת ה-SEMVision G7 מקור אור משופר יחד עם מנגנון איסוף, המאפשרים איתור פגמים שגודלם עד ל-18 ננומטר בפרוסות סיליקון חלקות או שעברו תהליך כיסוי אחיד. זיהוי ואיפיון הפגמים על פרוסות הסיליקון החלקות מספק ליצרני שבבים מידע המסייע בקביעת מקור הפגם, והודות לכך האצת פתרון הבעיה.
טכנולוגיית סיווג הפגמים האוטומטית Purity™ II, המבוססת על מערכת Purity™ ADC, היחידה בתעשייה שהוכחה בסביבת ייצור, מרחיבה את יכולות ה- Machine Learning של SEMVision G7 ומאפשרת לה ללמוד שינויים בתהליך ולהתאים במהירות ובאוטומטיות את מנוע הסיווג הסטטיסטי. יכולת Machine Learning חדשה, משלבת נתוני תכנון הנדסיים עם תמונות SEM על מנת להפיק סיווג מבוסס-מיקום של הפגם ואנליזה מדויקת יותר מבחינה קונטקסטואלית – יכולת זו מאיצה את ניתוח הגורמים לפגם. אלגוריתם חדש לחילוץ פגמים קריטיים, מתעדף מיון של פגמים שהוגדרו מראש במנוע הסיווג על מנת להבטיח שהפגמים החשובים והמעניינים ביותר יודגשו וייוצגו בעדיפות גבוהה. הודות ליכולות ניתוח מהיר, מדויק ואוטומטי של הפגמים באמצעות בינת Machine Learning, מערכת סיווג הפגמים האוטומטית Purity II ADC מאפשרת ייצוב מהיר של תהליכי ייצור וניהול תפוקה הדוק יותר.

עוד בתחום צב"ד Warning: Creating default object from empty value in /home/chiporta/public_html/modules/mod_filterednews/helper.php on line 247 Warning: Creating default object from empty value in /home/chiporta/public_html/modules/mod_filterednews/helper.php on line 247 כתבות נוספות בתחום ‫צב"ד‬ קיידנס משיקה את Celsius, פתרון לשוק התכנון וניתוח מערכות בעידן שבו שואפת תעשיית האלקטרוניקה למוצרים קטנים יותר, מהירים יותר, חכמים ומורכבים יותר, עם צפיפות הספק גבוהה יותר, מתעורר צורך בשימוש... קרא עוד ‫צב"ד‬ אדוונטסט מציגה פתרונות בדיקה חדשים עבור 5G, רכב וזיכרון ההכרזה התקיימה במהלך כנס סמיקון טאיוואן המתקיים השבוע קרא עוד

תגובות (0)

הצג או הסתר תגובות

כתוב תגובה

מייל שם אתר		כותרת תגובה יותר קטן | יותר גדול
		קבלת עדכונים בדואר אלקטרוני - למשתמשים רשומים בלבד קראתי והנני מסכים ל תנאי השימוש באתר העתק תווים מוצגים הוסף תגובה